SPTS Technologies является разработчиком и производителем оборудования для травления, PVD, CVD и MVD®
Компания предоставляет технологии и решения для полупроводниковой и микроэлектронной индустрии. Конечными решениями являются MEMS системы, сложные сборки, LED, высокоскоростные RF устройства и силовые полупроводники.
SPTS Technologies была признана ведущими отраслевыми экспертами, имеет многочисленные титулы.
Травление |
Осаждение |
Травление кремния, диэлектриков и полимеров в индуктивно-связанной плазме (ICP)
Глубокое реактивно ионное травление (DRIE) |
Плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD)
Металлоорганическое осаждение (MOCVD) Осаждение на молекулярном уровне (MVD®) |
В феврале 2019 года SPTS слилась с компанией KLA Corporation (NASDAQ: KLAC).