Глубокое реактивно ионное травление кремния (DRIE)
Компания SPTS – мировой лидер в области глубокого травления кремния. База установленного оборудования насчитывает более 1200 установленных реакторов по всему миру.
Преимущества SPTS.
- Запатентованная конструкция реактора с двумя независимыми источниками плазмы и двумя независимыми зонами подачи газов. В результате чего достигается высокая концентрация радикалов и их равномерность распределения.
- Высокая скорость травления
- Превосходная равномерность травления
- Контролирование наклона профиля травления глубоких элементов
- Возможность травления оксидов при той же конфигурации оборудования.
