Xactix^® XeF₂

Изотропное травление кремния с применения дифторида ксенона – это идеальное решение для высвобождения МЭМС устройств.

XeF₂ имеет высокую селективность травления кремния по отношению к большинству стандартных полупроводниковых материалов, включая фоторезист, SiO2, Si3N4 и алюминий.

Благодаря тому, что травитель находится в паровой фазе, удаются избежать множество типичных проблем, характерных для жидкостного и плазменного травления.

SPTS предлагает следующие XeF₂ системы травления Xactix^®:

• e2
• X4
• CVE