Ряд оборудования Sigma для напыления металлов может работать с пластинами от 100 мм до 300 мм. Могут применяться как традиционные PVD технологии, так и MOCVD технологии.

Технологии напыления металлов

• Стандартный PVD – традиционные модули напыления для работы с небольшими аспектными отношениями
• Advanced Hi-Fill (AHF) PVD – ионизированный источник для напыления на элементы с высоким аспектным отношением
• C3M – практически конформное металлическое покрытие с применением MOCVD технологии для линер и барьерных слоев

Преимущества SPTS PVD

• Индивидуальная обработка пластин дает увеличение выхода годных и электрических параметров в сравнении с групповой обработкой пластин
• Планарная мишень с полной эрозией поверхности
  • отсутствие перераспыления, уменьшение загрязнений
  • увеличение срока жизни мишение
• Быстрая скорость смены мишени (<5 мин), увеличение бесперебойного времени работы магнетрона
• Надежный перенос хрупких, утоненных или изогнутых пластин внутри системы
• Доступная опция “Super Uniformity” для специализированных применений
• Отдельный модуль групповой дегазации для увеличения производительности в случае применений с длительной  низкотемпературной дегазацией
• Общее программное обеспечение для 200 мм и 300 мм систем – легкость управления