ООО “ИКАР-ИМПУЛЬС” предлагает к поставке 150 мм пластины SiC N-типа 4H.

По согласованию с заказчиком, возможна поставка пластин другого диаметра и типа.

Стандартная спецификация

Диаметр (Diameter)
Толщина (Thickness)
Прогиб (Bow)
Коробление (Warp)
Разброс по толщине (Total Thickness Variation)

150 мм ±0.25 мм
350 мкм +/- 10 мкм
<40 мкм
<40 мкм
<5 мкм

Улучшенная спецификация

Диаметр (Diameter)
Толщина (Thickness)
Прогиб (Bow)
Коробление (Warp)
Разброс по толщине (Total Thickness Variation)

SiC wafers 150mm

150 мм ±0.25 мм
350 мкм +/- 3 мкм
<15 мкм
<20 мкм
<2 мкм