ООО “ИКАР-ИМПУЛЬС” предлагает к поставке 150 мм пластины SiC (карбид кремния) N-типа 4H.
По согласованию с заказчиком, возможна поставка пластин другого диаметра и типа.
Стандартная спецификация
Диаметр (Diameter)
Толщина (Thickness)
Прогиб (Bow)
Коробление (Warp)
Разброс по толщине (Total Thickness Variation)
150 мм ±0.25 мм
350 мкм +/- 10 мкм
<40 мкм
<40 мкм
<5 мкм
Улучшенная спецификация
Диаметр (Diameter)
Толщина (Thickness)
Прогиб (Bow)
Коробление (Warp)
Разброс по толщине (Total Thickness Variation)
SiC wafers 150mm
150 мм ±0.25 мм
350 мкм +/- 3 мкм
<15 мкм
<20 мкм
<2 мкм
