Жертвенное травление кремния в парах XeF2

Xactix® XeF2

Изотропное травление кремния с применения дифторида ксенона — это идеальное решение для высвобождения МЭМС устройств.

XeF2 имеет высокую селективность травления кремния по отношению к большинству стандартных полупроводниковых материалов, включая фоторезист, SiO2, Si3N4 и алюминий.

Благодаря тому, что травитель находится в паровой фазе, удаются избежать множество типичных проблем, характерных для жидкостного и плазменного травления.

SPTS предлагает следующие XeF2 системы травления Xactix®: