SPTS Technologies  является разработчиком и производителем оборудования для травления, PVD, CVD и MVD® 

Компания предоставляет технологии и решения для полупроводниковой и микроэлектронной индустрии. Конечными решениями являются MEMS системы, сложные сборки, LED, высокоскоростные RF устройства и силовые полупроводники.

SPTS Technologies была признана ведущими отраслевыми экспертами, имеет многочисленные титулы.

 

Травление

Осаждение

Травление кремния, диэлектриков и полимеров в индуктивно-связанной плазме (ICP)

Глубокое реактивно ионное травление (DRIE)

Сухое жертвенное травление в парах HF

Сухое изотропное травление кремния в XeF2

Плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD)

Вакуумное напыление (PVD)

Металлоорганическое осаждение (MOCVD)

Осаждение на молекулярном уровне (MVD®)

 

В феврале 2019 года SPTS слилась с компанией KLA Corporation (NASDAQ: KLAC).

Кевин Крофтон, исполнительный директор, президент SPTS TECHNOLOGIES A KLA COMPANY