Sigma® — системы напыления металлов

Ряд оборудования Sigma для напыления металлов может работать с пластинами от 100 мм до 300 мм. Могут применяться как традиционные PVD технологии, так и MOCVD технологии.

Технологии напыления металлов

  • Стандартный PVD – традиционные модули напыления для работы с небольшими аспектными отношениями
  • Advanced Hi-Fill (AHF) PVD – ионизированный источник для напыления на элементы с высоким аспектным отношением
  • C3M – практически конформное металлическое покрытие с применением MOCVD технологии для линер и барьерных слоев

Преимущества SPTS PVD

  • Индивидуальная обработка пластин дает увеличение выхода годных и электрических параметров в сравнении с групповой обработкой пластин
  • Планарная мишень с полной эрозией поверхности
    • отсутствие перераспыления, уменьшение загрязнений
    • увеличение срока жизни мишение
  • Быстрая скорость смены мишени (<5 мин), увеличение бесперебойного времени работы магнетрона
  • Надежный перенос хрупких, утоненных или изогнутых пластин внутри системы
  • Доступная опция «Super Uniformity» для специализированных применений
  • Отдельный модуль групповой дегазации для увеличения производительности в случае применений с длительной  низкотемпературной дегазацией
  • Общее программное обеспечение для 200 мм и 300 мм систем — легкость управления