Жертвенное травление SiO2 в парах HF

Системы травления Primaxx®

SPTS предлагает широкий круг оборудования для сухого жертвенного травления в парах HF, начиная с лабораторных системам и заканчивая установками для массового производства.

Технология травления Primaxx® HF — мировой лидер в области сухого травления жертвенных слоев диоксида кремния, процессах применяемых для формирования подвижных компонентов МЭМС структур. Совместное применение безводного HF газа и паров спирта при пониженном давлении предоставляет широкие возможности для решения технологических задач, сочетающих в себе различные комбинации структур и толщин оксидов, при сохранении высокой селективности к материалам, широко используемых в МЕМС структурах, включая алюминий.

Преимущества сухого травления в газовой среде

  • Исключаются проблемы, связанные с применением традиционных жидкостных методов
  • Исключается «слипание» и загрязнение элементов. Выход годных устройств ~100%
  • Отсутствие сложных вопросов по урегулированию сбросов отходов. Малая занимаемая площадь. Низкая стоимость расходных материалов. Низкая стоимость владения по сравнению с жидкостными системами.

 

Оборудование