Глубокое реактивно ионное травление кремния (DRIE)

Компания SPTS — мировой лидер в области глубокого травления кремния. База установленного оборудования насчитывает более 1200 установленных реакторов по всему миру.

Преимущества SPTS.

  • Запатентованная конструкция реактора с двумя независимыми источниками плазмы и двумя независимыми зонами подачи газов. В результате чего достигается высокая концентрация радикалов и их равномерность распределения.
    • Высокая скорость травления
    • Превосходная равномерность травления
    • Контролирование наклона профиля травления глубоких элементов
  • Возможность травления оксидов при той же конфигурации оборудования.