В зависимости от потребностей, SPTS предлагает различные транспортные платформы, которые могут использоваться в массовом, пилотном производствах и R&D применениях.


Платформа fxP —  кластер с возможностью установки до 6 различных технологических модулей. Два загрузочных шлюза. Возможность одновременной работы с двумя типоразмерами пластин.  Можно сконфигурировать под массовое производство или совместить в одном кластере несколько технологических процессов для получения законченной технологии. Вариант исполнения для пластин до 200мм(8″) и исполнение для пластин 200мм(8″) — 300мм(12″). Возможность установки SMIF загрузчиков.


Платформа c2L — кластер с возможностью установки до 3 различных технологических модулей. Один загрузочный шлюз. Размер пластин до 200мм(8″). Возможность установки SMIF загрузчиков.


Платформа LPX — платформа для одного технологического модуля с шлюзовой камерой и ручной загрузкой пластин.